医用MEMS
医用MEMS是最新的领域，美国食品及药物管理局(FDA)已批准十几种基于MEMS的健康监控设备，比如Preventice公司的BodyGuardian远程监控系统，它把一个胶带直接贴在人体上，然后随时把心电图、心率、呼吸率和活动水平通过无线方式发送给医疗人员，从而帮助老年人安享晚年，病人更早地安全离开医院，从而减轻医院人满为患的问题。
包括Debiotech公司(瑞士洛桑)与意法半导体合作开发的胰岛素注射泵，可以自动向监控糖尿病患者并释放胰岛素;CardioMEMS(美国)正在开发的可植入血压监测计。
Replenish公司的可植入微流体泵可以安置在眼内，可以在需要时精确地释出几纳升的药物，可以持续工作九个月才需要重新装药。
