曾几何时,国内地方政府纷纷发展高科技产业,从南到北,由东至西,可到头来,几家欢乐几家愁?政府和企业从初见时的相见恨晚到后来成为陌路仇人,此类故事不绝于耳,让业界感慨“人生若只如初见,却道对方诺易变”。前天是太阳能,昨天是LED。相同的故事,不停地上演。政府的积极性和产业的发展到底怎样才能和谐共存,良性发展。这是个问题。而制订产业发展规划,按照产业规律办事,拥有长期合作眼光,摈除急功近利,尊重企业运作,则是回答这个问题的答案。
九.中微、新阳等公司产品进入世界一线大厂量产:国产设备和材料产业大丰收
事件:2013年8月,上海新阳半导体材料股份有限公司的超纯铜电镀液产品百分之百切换进中芯国际上海8寸厂中央供液系统,并被认定为该厂超纯铜电镀材料Baseline(基准材料)产品。至此,国内诞生了第一款8寸晶圆制程工艺材料Baseline产品,打破了国际半导体材料巨头企业的长期垄断,国产高端半导体材料正式进入90纳米以上技术节点。而安集微电子和江丰等公司在各自领域也均取得了长足的进步。在材料产业喜报频传的同时,设备产业也取得骄人成绩:2013年中微半导体的设备订单比2012年增加了一倍,截至2013年年底,中微半导体已有多个等离子体刻蚀设备产品的240个反应台,在20多个国内外先进的芯片生产线实现量产。在国内高端介质刻蚀设备市场达到30%以上的市场占有率,在先进封装硅通孔刻蚀超过了50%的市场占有率。在台湾的一流生产线上已超过100台进入量产,包括40纳米到28纳米量产。在韩国先进生产线最关键的20纳米前端接触孔刻蚀上,已实现每月3万片以上晶圆的量产,并在15纳米接触孔刻蚀的研发上,超过美国设备,成为下一代的首选设备;盛美半导体2013年销售海力士三台12寸清洗设备,获得台湾合晶,长电先进等其他客户多台量产订单,全年销售额接近一亿人民币,较2012年成长接近500%,并且首次实现全年盈利;而睿励科学仪器的光学测量设备也开始了在12寸生产线销售。这是我国半导体材料和设备企业,第一次实现在国际和国内先进芯片生产线大规模量产的记录。
点评:长久以来,设备和材料产业一直处在被遗忘的角落,之所以“这里的黎明静悄悄”,除了处在产业链的上游之外,更主要的原因在于技术门槛、专利壁垒和量产难度非常高,长久都被海外少数几家巨头垄断。随着以中微半导体、上海新阳半导体为代表的国内设备和材料企业成功打破国际巨头垄断,进入国际市场,标志着我国本土半导体设备和材料产业取得质的突破,正式踏进新时代。
随着半导体进入纳米时代,设备越来越成为芯片产业的关键,其中最难的是光刻和离子体刻蚀;而材料则成为生产中的石油,在生产中发挥着越来越重要的作用。“工欲善其事,必先利其器”,材料和设备产业作为能够快速配合半导体制造实现成本控制、工艺提高的环节,对我国半导体产业的优化与提升有着极其重要的意义;而同样,在国际半导体材料和设备工业高度垄断和集中的情况下(国际上每种领域只有两三家存在),国产厂家的“大丰收”不仅仅打破了国际上的垄断,并且在使国际竞争对手快速降价,以及帮助中国半导体制造业建立全线可掌控的综合竞争力上起到了极其重要的作用。