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芯片间光传输大势所趋 硅光子技术全面普及(5)

华体会备用网在线  来源:电子发烧友    2013/10/29 14:35:42  我要投稿  

通过“慢光”缩小调制器尺寸

要想进一步改善PECST的成果,进一步缩小光调制器的尺寸并实现高速动作至关重要。这方面的研究也取得了进展(图7)。例如,PECST的研究人员之一——横滨国立大学工学研究院教授马场俊彦的研发小组通过CMOS兼容技术开发出了利用光子晶体(PhC)*技术实现10Gbit/秒动作的Mach- Zehnder型光调制器。由此,将光调制器的长度大幅缩短到了90μm。

图7:光调制器取得进一步的进步

本图为日本的研究机构开发的新一代光调制器的概要。横滨国立大学的马场研究室利用光子晶体(PhC)将光速降至约1/10,由此在较短的元件长度下确保了较长的光的有效路径长度(a)。东京大学和田研究室通过组合使用锗调制器和MEMS,利用板簧的应力成功控制了锗的可调制波长(b)。(图(a)由 PECST制作,(b)由东京大学和田研究室拍摄)

光子晶体(Photonic Crystal,PhC)=以人工方式在电磁波透过的材料中制作了大量尺寸与透过的电磁波波长基本相同的开孔的材料。用于光密封、路径控制、群速度控制等。半导体的原子排列规则,因此自由电子等载流子会产生价带、禁带(带隙)和导带。PhC用人工孔代替原子实现了与半导体相同的效果。最近,可实现半导体晶格振动(声子)效果的“声子晶体(Phononic Crystal)”也已问世。

PhC的特点是,光密封效果非常高,而且可大幅减慢光速(群速度)。慢光意味着PhC波导的有效折射率大,以短波导也能确保较长的有效路径长度,因此能实现调制器的小型化。

在PhC的开发中,有将光速减慢到约1/1000万的例子。不过,光速过慢的话,会出现带宽非常窄的课题。在马场教授的开发中,通过将光速减至约1/10,可在波长为1550nm附近的17nm带宽下使用,而且“对温度的依赖性也比较小,在100℃以上的温度变化下也能运行”。

据马场教授介绍,这种复杂构造的元件乍一看好像很难制造,但“可以通过180nm工艺CMOS技术中使用的248nm KrF步进器制造”。

导入MEMS技术

有望缩小调制器尺寸的另一项技术是MEMS技术。东京大学研究生院工学系研究科教授和田一实的研发小组在采用锗(Ge)的电场吸收(EA)型调制器中采用了MEMS技术。由此,将调制器长度缩小至约30μm。其特点是可以使用无掺杂的锗,而且利用MEMS技术还能使用于调制的波长范围可变。

采用锗的EA型调制器和受光器一般通过对锗进行掺杂或施加应变来改变调制和受光波长,但无法实现波长的可变控制,而且掺杂后,存在与其他元件在制造工艺上兼容性降低的课题。

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